自适应光学元件,可变形反射镜,波前传感器

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自适应光学元件,可变形反射镜,波前传感器Boston Micromachines

自适应光学元件,可变形反射镜,波前传感器

 

自适应光学元件套件

自适应光学元件套件是一种完整的自适应光学元件成像方案,它包含一个可变形反射镜、一个波前传感器、把持软件和装配所需的光力学元件。这些小型精密波前把持器件在光束形成、显微、激光通信和视网膜成像中有具有重作用。其中有带有140或32个致动器的镀金膜或铝膜的可变形反射镜,以及基于15赫兹CCD或450赫兹CMOS Shack-Hartmann波前传感器可供选择。

自适应光学元件套件

特点
完整的套件和软件供给开箱即用的波前测量和把持
套件包含
·持续可变形反射镜
·Shack-Hartmann波前传感器
·激光二极管模块(635纳米)
·所有所需的成像光学元件和相干安装硬件
·实用于Windows操作系统的功效全面的独立把持软件
·SDK可认为终端用户供给定制利用

我们根据下列规格供给8种套件:
·镀铝膜或金膜的可变形反射镜
·带32或140个致动器的可变形反射镜
·15赫兹CCD或450赫兹CMOS Shack-Hartmann波前传感器

 

 

MEMS可变形反射镜


·6 x 6(Mini-DM)或12 x 12(Multi-DM)致动器类型可供选择
·3.5微米最大致动器位移
·最高可达3.5千赫兹的高速操作
·400微米中心对中心致动器间距,致动器间的低耦合效应可实现高空间分辨率
·零磁滞致动器位移
·14位驱动电路可实现亚纳米量级的重复性
·内置高电压电源的紧凑型驱动电路,实用于工作台或OEM集成

Boston Micromachines Corporation(BMC)公司供给迷你型和多重型基于微机电(MEMS)技巧的可变形反射镜,作为我们自适应光学元件套件中的部件。这些可变形反射镜(DM)极其合适高级光波波前把持;他们可以对高度变形的波前进行单色像差(球差、彗差、象散、场曲或畸变)校订。目前,MEMS可变形反射镜是波前整形利用中最广泛利用的器件,该反射镜技巧成熟、用处广泛,具有高分辨率的波前校订性能。

MEMS可变形反射镜结构

MEMS可变形反射镜结构
可变形反射镜采用多晶硅表面微加工制作工艺进行制作,经过简易包装,可以供给复杂的像差补偿。该反射镜包含一个反射镜薄膜,它通过32个静电致动器(对应Mini-DM,一个6 x 6 致动器阵列,四角上为四个闲置致动器)或140个静电致动器(对于Multi-DM,一个12 x 12 致动器阵列,四角上为四个闲置致动器)进行变形。这些致动器可以供给3.5微米的行程(632.8纳米下可以通过11个波前),并且具有零磁滞特点。

这些反射镜可以镀金反射膜铝反射膜每个反射镜都用一个6°楔形掩护窗进行包装,该窗口镀有对应400-1100纳米波长领域的增透膜。

 

Shack-Hartmann波前传感器


·高敏锐度型:基于CCS,最高可达λ/50 RMS
·高速型:基于CMOS,最高可达450 Hz
·波长领域:300 - 1100纳米
·实时波前和强度散布测量
·接近衍射极限光斑尺寸
·可用于持续波和脉冲光源
·机动的数据导入操作(Text或Excel)
·可通过TCP/IP进行实时数据读取

这些Shack-Hartmann波前传感器可以探测波前中的失真,并通过可变形反射镜进行校订。

基于CMOS的450 Hz传感器
CMOS技巧的本质特点使其极其合实用于快速波前传感器。由于CMOS传感器中每个像素都具有其自己的独立电路,在只有部分传感器数据被读取的窗口技巧中具有优势。该信号可以仅从传感器上部分区域进行快速读取,而不像CCD系统中对全部传感器进行序列数据读取。这样一来,目标区域(AOI)就可以被缩小从而得更高的帧速,并且最高可达450Hz*。在自适应套件中采用的分辨率设置下,最高可以~100Hz的帧速进行工作。

对于450 Hz的帧速,必须采用180 x 180的像素分辨率。该速度取决于打算机硬件速度,不需要图形显示就可以实现,并假设符合5阶泽尼克多项式和最小曝光时间。

130万像素CCD传感器
130万像素波前传感器具有λ/50 RMS的较高波前敏锐度,这是因为CCD传感器进步了空间分辨率(4.65微米的像素间距)。该传感器以15赫兹的帧速进行工作。

 


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